3D測量激光顯微鏡

產(chǎn)品型號：OLS5000
發(fā)布時間：2020-12-16 15:34:47
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3D超景深顯微鏡-3D測量激光顯微鏡介紹

3D測量激光顯微鏡OLS5000,快速獲得可靠數(shù)據(jù)。

●亞微米3D觀察、測量。觀察納米范圍的臺階，并可測量亞微米級別的高度差。

●ISO25178-合規(guī)表面粗糙度測量?？蓽y測量從線到面的表面粗糙度。

●非接觸，無損，并且快捷。無需制備樣品，您只需將樣品放在載物臺上即可測量。

OLS5000激光掃描顯微鏡的基本原理

●3D測量激光顯微鏡OLS5000配置了兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和濟鋼共焦光學(xué)系統(tǒng)，如下圖）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

a、獲取彩色信息是指彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。

b、獲取3D高度信息和高分辨率共焦圖像。即激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

●405納米激光光源

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。3D測量激光顯微鏡OLS5000利用405納米短波長激光二極管獲得橫向分辨率。

●激光共焦光學(xué)系統(tǒng)

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像。

●X-Y掃描儀

3D測量激光顯微鏡OLS5000配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

●高度測量原理

在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。

根據(jù)非連續(xù)的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）。

選擇3D測量激光顯微鏡OLS5000的價值

●顯微鏡OLS5000的先進(jìn)技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量，捕捉任意表面形狀，

輸出可靠數(shù)據(jù)。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用專用LEXT物鏡，達(dá)到一致的測量值。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用4K掃描技術(shù)，能捕捉陡峭斜面形狀。

3D測量激光顯微鏡OLS5000具有智能判別功能，可自動獲取可靠數(shù)據(jù)。

●3D測量激光顯微鏡OLS5000的掃描算法可快速獲得可靠數(shù)據(jù)。即可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，以提高生產(chǎn)力。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用PEAK算法，能快速、準(zhǔn)確的測量。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用跳躍式掃描，簡化測量，提升下來。

●3D測量激光顯微鏡OLS5000具有自動數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果，即只需放置樣品并按一下按鈕即可。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用智能掃描II技術(shù)，具體操作如下;

步驟1：放置樣品，點擊“Start”，掃描完成。

步驟2：先選擇測量項目，然后指定測量區(qū)域，點擊報告按鈕，分析和報告即可完成。

步驟3：創(chuàng)建報告。即通過分析模板，減少重復(fù)測量的差異。

●低功率輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備（可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品）?？梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴展架可容納高達(dá)210毫米的樣品(如下圖1)，而專用LEXT超長工作距離物鏡能夠測量深度大25毫米的凹坑(如下圖2)。在測量這兩類樣品時，您只需將樣品放在載物臺上即可。

圖1

圖2

3D 測量激光顯微鏡OLS5000系列配置

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-SAF

? 100毫米電動載物臺

? 最大樣品高度:100毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-EAF

? 100毫米電動載物臺

? 最大樣品高度:210毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-SMF

? 100毫米手動載物臺

? 最大樣品高度:30毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-EMF

? 100毫米手動載物臺

? 最大樣品高度:140毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-L AF

? 3 0 0 毫米電動載物臺

? 最大樣品高度：37毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000系列技術(shù)規(guī)格

主機規(guī)格

型號		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
總倍率		54x - 17,280x
視場直徑		16 μm - 5,120 μm
測量原理	光學(xué)系統(tǒng)	反射式共焦激光掃描激光顯微鏡反射式共焦激光掃描激光 -DIC 顯微鏡彩色彩色 DIC
	光接收元件	激光：光電倍增管（2ch）色彩：CMOS 彩色相機
高度測量	顯示分辨率	0.5 納米
	動態(tài)范圍	16 位
	可重復(fù)性 n-1 1 2 *6	20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
	精度 1 3 *6	測量值 +/- 1.5%
	拼接圖像精度 1 4 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
	測量噪聲（SQ 噪聲）1 5 *6	1 納米
寬度測量	顯示分辨率	1 納米
	可重復(fù)性 3 n-1 1 6	20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
	精度 1 3 *6	測量值 +/- 1.5%
	拼接圖像精度 1 3 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
單次測量時測量點的最大數(shù)量		4096 x 4096 像素
測量點的最大數(shù)量		3600 萬像素
XY 載物臺配置	長度測量模塊	?	無	無	?	無
	工作范圍	100 x 100 mm 電動	100 x 100 mm 手動	300 x 300 mm 電動	100 x 100 mm 電動	100 x 100 mm 手動
最大樣品高度		100 mm	30 mm	37 mm	210 mm	140 mm
激光光源	波長	405 nm
	最大輸出	0.95 mW
	激光分類	2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源		白光 LED
電氣功率		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
質(zhì)量	顯微鏡主體	約 31 公斤	約 30 公斤	約 50 公斤	約 43 公斤	約 39 公斤
	控制箱	約 12 公斤

物鏡規(guī)格

系列	型號	數(shù)值孔徑（NA）	工作距離(WD) (毫米）
UIS2 物鏡	MPLFLN2.5x	0.08	10.7
UIS2 物鏡	MPLFLN5x	0.15	20
LEXT 專用物鏡（10X）	MPLFLN10xLEXT	0.3	10.4
LEXT 專用物鏡（高性能型）	MPLAPON20xLEXT	0.6	1
	MPLAPON50xLEXT	0.95	0.35
	MPLAPON100xLEXT	0.95	0.35
LEXT 專用物鏡（長工作距離型）	LMPLFLN20xLEXT	0.45	6.5
	LMPLFLN50xLEXT	0.6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0.8	3.4
超長工作距離物鏡	SLMPLN20x	0.25	25
	SLMPLN50x	0.35	18
	SLMPLN100x	0.6	7.6
適用于 LCD 樣品的長工作距離物鏡	LCPLFLN20xLCD	0.45	7.4-8.3
	LCPLFLN50xLCD	0.7	3.0-2.2
	LCPLFLN100xLCD	0.85	1.0-0.9