測量顯微鏡STM7

明場圖像	暗場圖像	微分干涉圖像	偏光圖像

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

STM7-LFFEM 分析

為了進一步保證測量精度，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達亞微米水平，同時確保有效地降低誤差。

作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

主動反射，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和準確化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也比較重要。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的準確度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。

STM7在設(shè)計上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。

目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。

由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。

STM7解決方案

共有四種獨特的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm,200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。

采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。

300mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

STM7-CS50 50mm x 50mm	STM7-CS100 100mm x 100mm	STM7-CS200 200 mm x 200 mm	STM7-CS300 300 mm x 300 mm

使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察

常見問題

大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時滿足多種觀察要求。

STM7解決方案

STM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇合適的觀察方法。

測量物鏡

由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。

金相物鏡

明場圖像                                                    暗場圖像

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場，偏光和微分干涉觀察。

手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列

聚焦控制提供手動型和電動型兩種可選方案。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機型，而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標尺，各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。

手動Z軸調(diào)焦機型

手動Z軸調(diào)焦機型提供了優(yōu)異的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動Z軸調(diào)焦機型

使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計使使用者可以以習(xí)慣的類似手動的方式進行操作，同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。

一個具有突破性設(shè)計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性

常見問題

其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元，因而顯著降低測量效率。

眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周圍，占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

對于STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

控制箱

用于手動Z軸調(diào)焦機型：                          用于電動Z軸調(diào)焦機型：
STM7-HS手動操作裝置                            STM7-MCZ電動操作裝置

各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計可以大程度地減少占用工作空間。大大提高了觀察和測量效率的光源管理器

常見問題

傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。這樣每次測量時的光強無法保持一致，導(dǎo)致測量值也發(fā)生變化。使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強，這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

STM7的光強可定量顯示，這樣就能保證始終在相同條件下實施觀察和測量。

物鏡切換時，無需手動調(diào)節(jié)光強

光強度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動調(diào)節(jié)光強和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強的操作，現(xiàn)在就可以省略了。

5x物鏡光強 50	20x物鏡光強 70	100x物鏡光強 120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

常見問題

需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運行狀以及測量結(jié)果時，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。

STM7解決方案

能一目了然確認當(dāng)前狀態(tài)的計數(shù)器

計數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡單的實現(xiàn)對設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的zui小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在恰當(dāng)位置。當(dāng)用戶站著進行測量時，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機在顯示器上進行觀察和測量，或使用電動Z軸調(diào)焦機型時，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進行作業(yè)。

計數(shù)器安裝在鏡架上計數(shù)器放置在工作臺上

自動聚焦系統(tǒng)具有優(yōu)異的重復(fù)性，實現(xiàn)更快、更簡單、更準確的高度測量

常見問題

進行目視測量時，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時，效率低下。

STM7解決方案

具有優(yōu)越的重復(fù)性、簡單且高度準確的聚焦系統(tǒng)。通過將圖案投影在視場范圍內(nèi)，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標記便可進行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。

目視高度測量

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

焦點下方	焦點位置	焦點上方

自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量

常見問題

進行目視測量時，不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣。

手動高度測量需要操作者反復(fù)進行移動載物臺，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測量既耗時又低效。

很難對微小的物體聚焦，比如引線。

STM7解決方案

專用自動對焦單元：杰出的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7專用自動對焦單元均可以在較短時間內(nèi)實現(xiàn)高度準確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線的自動對焦。

單次對焦模式

執(zhí)行自動聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦。

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦，即使在移動工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察，從而大大地提高了Z軸的測量效率。

實現(xiàn)觀察與測量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤

將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調(diào)整設(shè)置。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。

MM6-EMO/正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。

STM7-FS/腳踏開關(guān)

實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。

SZ-LW61/白光LED照明單元

具有小型，輕便，使用壽命長，功耗低等特點。此外，這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動控制單元

SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2- ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇照明。

旋轉(zhuǎn)載物臺，使用微調(diào)旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊。

STM7-RS100 用于STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺

STM7-RS200 用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺

STM7-RS300 用于STM7-CS300 300 mm×300 mm載物臺

專為更先進測量而設(shè)計的系統(tǒng)

測量支持系統(tǒng)

對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。推動以更高精度實現(xiàn)復(fù)雜的測量正是開發(fā)全新奧林巴斯測量軟件的原因所在。該軟件亦可與數(shù)碼相機結(jié)合使用。

測量顯微鏡STM7標準配置參數(shù)