鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)
它是專門分析測(cè)量鋼絲表面粗糙度而量身定制的產(chǎn)品。它是基于強(qiáng)大的圖像處理分析平臺(tái),集圖像采集、圖像處理、測(cè)量與分析、 可定制報(bào)告為一體,大大提高工作效率。內(nèi)嵌多種功能:EFI、MIA、三維表面顯 示、劃痕去除、顆粒自動(dòng)尋邊等等功能。
支持鋼絲粗糙度測(cè)量的同時(shí),內(nèi)置層深長(zhǎng)度測(cè)量、相含量分析、顆粒與孔 隙分析軟件包。
鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)的硅片切割線的檢測(cè),同時(shí)也可適于用鋼 連線的粗糙度測(cè)量。
1、 軟硬件集成一體化系統(tǒng)
本系統(tǒng)是具有圖像采集、圖像處理、自動(dòng)識(shí)別與測(cè)量、分析統(tǒng)計(jì)、自動(dòng)生 成報(bào)告、外圍硬件控制等功能的一體化的圖像系統(tǒng)。
2、 批量化圖像獲取歸檔
實(shí)現(xiàn)“實(shí)時(shí)預(yù)覽、快速抓拍、疊加標(biāo)尺、信息標(biāo)注、識(shí)別測(cè)量、分析統(tǒng)計(jì)、保存歸檔”檢驗(yàn)過程的流程化;提供批量拍照、批量標(biāo)注、批量保存、批量合并等多圖批處理功能,讓檢驗(yàn)過程更加方便。
3、強(qiáng)大的圖像處理、圖像矯正功能
圖像增強(qiáng)、反差調(diào)整、色彩分離、多通道色彩合成、圖像矯正、劃痕污跡 處理;圖像標(biāo)注、圖層合并、圖像數(shù)據(jù)庫;方便的標(biāo)尺工具。
4、 超景深觀察(EFI)
強(qiáng)大的景深擴(kuò)展功能(EFI),突破光學(xué)顯微鏡的景深限制,獲得全視場(chǎng)清晰圖像;解決高倍下鋼絲邊沿的拍照問題。
5、體式偏移校正景深觀察(OffsetEFI)
針對(duì)體視鏡的特殊光路,系統(tǒng)自動(dòng)修正體式成像中的偏移現(xiàn)象,保證景深擴(kuò)展的效果;
6、實(shí)時(shí)景深擴(kuò)展(LiveEFI)
智能化的實(shí)時(shí)景深擴(kuò)展功能(LiveEFI),良好的操作體驗(yàn);只需要調(diào)節(jié)焦距, 系統(tǒng)自動(dòng)記錄清晰區(qū)域,自動(dòng)實(shí)現(xiàn)超景深拍照。
7、大視野圖像采集(MIA)
自動(dòng)圖像拼接功能(MIA),擴(kuò)大顯微鏡的視場(chǎng)限制,獲取平滑過度的大視野圖像;可用于高倍下鋼絲邊沿全貌圖,缺陷分析等等。
8、實(shí)時(shí)圖像拼接(LiveMIA)
智能化的實(shí)時(shí)圖像拼接功能(LiveMIA),良好的操作體驗(yàn),突破視野限制。只要移動(dòng)載物臺(tái),系統(tǒng)自動(dòng)記錄掃描過的區(qū)域,無需拍照,自動(dòng)獲取大視野圖像。
9、目標(biāo)顆粒自動(dòng)尋邊(ATE)
根據(jù)顏色差別,自動(dòng)尋找顆粒邊界;
10、3D表面形貌與3D測(cè)量(3D)
3D表面形貌、表面細(xì)節(jié)等多種瀏覽方式(3DSurface);加配AUTOZ模塊可實(shí) 現(xiàn)3D測(cè)量(3D Measure)。如:3D模式下測(cè)量凹槽深度;
11、鋼絲粗糙度分析算法
專為貝卡爾特Bekaert特種鋼絲粗糙度分析方法設(shè)計(jì);高精度粗糙度計(jì)算 方法,自動(dòng)擬合當(dāng)前弧線的曲率半徑,獲取更準(zhǔn)確的粗糙度。同時(shí)計(jì)算出 Ra、Rz、dp%等多個(gè)參數(shù)。支持多段弧測(cè)量統(tǒng)計(jì)、批量提取、自動(dòng)形態(tài)學(xué)等功能。
12、粗糙度曲線顯示
可細(xì)致觀察指定范圍粗糙度曲線圖,更直觀、更準(zhǔn)確。
13、支持旋轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量和常規(guī)臺(tái)拼接測(cè)量
支持旋轉(zhuǎn)臺(tái)多段弧測(cè)量,同時(shí)支持常規(guī)臺(tái)拼接整個(gè)鋼絲表面進(jìn)行測(cè)量。整圖測(cè)量能反映整個(gè)鋼絲相貌,更直觀更準(zhǔn)確。
14、鋼絲粗糙度報(bào)告
專門為鋼絲粗糙度檢測(cè)定制的報(bào)告格式,圖文并茂,可以瀏覽鋼絲一個(gè)截 面的分析全貌。同時(shí)輸出統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),包括曲率直徑、Rz、Ra、dp%等多個(gè) 參數(shù)。
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