產(chǎn)品型號：MX12R
發(fā)布時間：2018-6-8 16:43:30
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全新的12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡，支持≤300mm 晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計提升，為用戶提供更加靈活、快捷的操作體驗。
為用戶提供高效的半導(dǎo)體\FPD 光學(xué)檢測解決方案
仰角可調(diào)觀察筒
0-35°觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到上佳的觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。
全新離合驅(qū)動式載物臺
MX12R 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導(dǎo)軌傳動機(jī)構(gòu)，移動更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。
安全、高速的電動式物鏡轉(zhuǎn)換器
設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。
按鍵觸手可及，助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動設(shè)計不僅避免了頻繁的手動操作步驟，也使您的檢測工作也更加精確、靈活。
防震支架設(shè)計
機(jī)身由六端支架支撐，低重心、高穩(wěn)定性全金屬機(jī)架，具備很好的抗震功能，確保像質(zhì)穩(wěn)定。
內(nèi)置式靈活搬運(yùn)裝置
MX12R 機(jī)身采用全金屬材質(zhì)，穩(wěn)定性非常棒。在底部兩端設(shè)有內(nèi)置搬運(yùn)裝置，搬運(yùn)時，用戶只需將內(nèi)置搬運(yùn)手柄旋轉(zhuǎn)擰出，反向擰進(jìn)，即可形成堅固的搬運(yùn)裝置。此裝置的設(shè)定，能夠?qū)C(jī)器重量均勻分配，只需兩人即可完成搬運(yùn)，有效避免搬運(yùn)過程中，無從下手、移動困難、重量分布不均勻、發(fā)生碰撞等諸多問題。搬運(yùn)過程中，為防止儀器平臺移動而造成損壞，可將平臺鎖緊，以確保儀器的安全穩(wěn)固性。
落射照明器
孔徑光闌與物鏡倍率自動匹配，無需再手動調(diào)節(jié)，更加快捷、高效，讓不同使用者都有同樣的觀察效果。
暗場模式下，光闌自動打開，減小使用者對顯微鏡的專業(yè)技術(shù)要求，讓顯微觀察簡單化。
滿足自動化的應(yīng)用需求
● 全新升級的MX12RMOT，全自動操作模式，使您的檢測工作更加高效。
● X\Y\Z 三軸電動控制，電動型物鏡轉(zhuǎn)換，孔徑光闌自動匹配。
● 可通過軟件或者手柄控制12 英寸平臺X、Y、Z 軸的運(yùn)動，完成圖像拼接功能，完美的進(jìn)行全局圖像的觀察、分析。
● 獨(dú)立的操作手柄讓平臺移動更加簡單、方便，避免了因人員操作不當(dāng)?shù)仍蛞鸬钠脚_損壞。
豐富的應(yīng)用領(lǐng)域
MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
豐富多樣的各項附件可滿足多種工作環(huán)境與觀察模式為您展現(xiàn)真實、清晰的顯微圖像
國際領(lǐng)先級大視野目鏡
● 配置25mm 寬視野目鏡，相對于常規(guī)22mm 的視場范圍，視野更加平坦、寬廣，并且視場邊緣都能保證清晰明亮，給用戶更加舒適的視覺感受。
● 提供更加平坦的觀察范圍，提高工作效率。更大值域屈光度調(diào)節(jié)范圍可滿足更多用戶的使用需求。
長工作距物鏡
● 配置全套專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，采用高透過率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)。
● 長工作距設(shè)計，可有效避免用戶在切換時物鏡與樣品發(fā)生碰撞。配置20X 長工作距物鏡，滿足工業(yè)檢測領(lǐng)域的需求。
● 每個鏡頭均嚴(yán)格挑選高透過率的鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)，可真實還原樣品的自然色彩。
型號 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相DIC物鏡 | 5X | 0.15 | 13.5 | - | 45 | ∞ |
10X | 0.30 | 9.0 | - | |||
20X | 0.50 | 2.5 | 0 | |||
50X | 0.80 | 1.0 | 0 | |||
100X | 0.90 | 1.0 | 0 | |||
型號 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相DIC物鏡 | 20X | 0.40 | 8.5 | 0 | 45 | ∞ |
型號 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)金相物鏡 | 50X | 0.55 | 7.50 | 0 | 45 | ∞ |
100X | 0.80 | 2.1 | ||||
型號 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠(yuǎn)明場半復(fù)消DIC物鏡 | 5X | 0.15 | 19.5 | - | 45 | ∞ |
10X | 0.30 | 10.9 | - | |||
20X | 0.50 | 3.2 | 0 | |||
50X | 0.80 | 1.2 | 0 | |||
100X | 0.90 | 1.0 | 0 |
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)
● 用高性能微分干涉組件，可以將明場觀察下無法檢測的細(xì)微高低差，轉(zhuǎn)化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來，廣泛用于LCD 導(dǎo)電粒子、精密磁盤表面劃痕檢測等領(lǐng)域。
系統(tǒng)配置圖
外形尺寸圖
12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX12R配置參數(shù)
型號 | MX12R |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/ 暗場/ 偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，0~35°傾角可調(diào)，正像， 瞳距調(diào)節(jié):50-76mm，分光比100:0 或0:100。 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相DIC 物鏡 5X、10X、20X、50X（選配：100X） |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相DIC 物鏡20X | |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡50X 100X | |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶DIC 插槽 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架：前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
載物臺 | 右手位14×12 英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用） |
電動平臺：面積495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制X、Y 移動，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 | |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器, 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌, 中心均可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 微分干涉組件 |
選配 | 工業(yè)相機(jī)：1000萬、1500萬、2000萬，CCD或CMOS相機(jī) |
分析軟件：自開發(fā)專業(yè)測量系統(tǒng) |
