精密測量顯微鏡MS系列，為實現(xiàn)強大的測量功能而研制，擁有值得信賴的品質(zhì)和技術(shù)
精密測量顯微鏡MS系列結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力和影像測量儀的X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能?？蓮V泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領域的檢測。
●仰角可調(diào)觀察筒
觀察筒角度可在3-35度范圍內(nèi)任意調(diào)整。無論是站立或坐著，都能較大限度滿足用戶的操作需求，同時也無需擔憂用戶的身高差異。
●大行程載物臺
有多種行程的載物臺可供選擇:
MS210A平臺行程200 (X) mm x 100 (Y) mm,
MS320A平臺行程300 (X) mm x 200 (Y) mm,
MS330A平臺行程300 (X) mm x 300 (Y) mm,
MS430A平臺行程400 (X) mm x 300 (Y) mm,
不管是大樣品還是小樣品，都能滿足用戶的測量需求。若用戶有別的需求，也可按需求定制平臺。
●精密測量工具
MS系列測量顯微鏡采用0.1μm讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng)，Z軸zui大行程可至170mm，利用集成在機架上的高精度電動控制Z軸。三檔不同調(diào)速可供選擇，調(diào)焦可操作性強，提供效率，降低疲勞。
●獨立裂像光源輔助對焦
可根據(jù)樣品不同背景進行光源亮度調(diào)節(jié)，清晰準確顯示zui佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇，并隨意切換。
●功能高度集成的一體式設計
一體式工作桌，既預留了臺式主機的位置，又帶有可收起的鍵盤抽屜，整體外觀整潔、舒服。各類可操作部位觸手可及，操作輕松方便。符合人體工程學，使用者無需站立，便可輕松實行操作。
●自主研發(fā)測量軟件
MS系列測量顯微鏡配備了操作簡單，功能強大的測量軟件，客戶可根據(jù)需要設置測試偏好。軟件附帶了各類手動取點與自動取點的測量功能，適用范圍更廣，即使對復雜的形狀，也可以進行高精度的測量。
●精密測量顯微鏡MS系列應用領域
精密測量顯微鏡MS系列配置參數(shù)
型號 | MS210A | MS320A | MS330A | MS430A |
光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng) | |||
觀察頭 | 5°~35°傾角可調(diào)，正像，無限遠鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50mm~76mm；兩檔式分光比：100:0,0:100 | |||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,可視度可調(diào)，可帶測微尺 | |||
轉(zhuǎn)換器 | 六孔電動轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽),明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽) | |||
物鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X、10X、 20X、 50X、 100x | |||
無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X、10X、 20X | ||||
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X、100X | ||||
放大倍率 | 光學放大倍率: 50X-1000X；系統(tǒng)放大倍率：135X~2700X | |||
測量顯微鏡主體 | 手動測量平臺，行程200(X) mm x 100 (Y)mm, X/Y測量精度;(2+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:10KG，帶z軸電動調(diào)焦，電動控制器, Z軸行程150mm, 最大行程170mm，Z軸重復定位精度±2um; | 手動測量平臺，行程300(X) mm x200 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:15KG，帶z軸電動調(diào)焦，電動控制器, Z軸行程150mm,最大行程160mm， Z軸重復定位精度±2um; | 手動測量平臺，行程300(X) mm x300 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:20KG，帶z軸電動調(diào)焦，電動控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復定位精度±2um; | 手動測量平臺，行程400(X) mm x300 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:20KG，帶z軸電動調(diào)焦，電動控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復定位精度±2um; |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器，帶明、暗場照明器切換裝置，普濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶5W LED燈源，亮度均可調(diào) | |||
輔助對焦模塊，帶明、暗光楔模切換裝置，帶綠光5W LED燈源(含100V-240V寬電壓, 5W LED控制器， | ||||
調(diào)焦方式 | 電動控制器，帶自動/手動乙軸調(diào)焦，獨立控制上/下/輔助對焦三種光源，支持亮度可調(diào)，包含x/y/z單獨清零及一健清零，電動控制轉(zhuǎn)換器，配置乙軸運動急停按鍵 | |||
相機 | 德國進口的映美精相機，靶面尺寸: 1/1.8 inch ;分辨率: 1600x 1200（1.9MP）, 幀速率: 20fps, 300萬像素 | |||
攝影攝像接口 | 0.5X/0.65X CTV，采用C型接口，可調(diào)焦 | |||
PC | 聯(lián)想電腦揚天M4000g(15-10400 8G IT)21.5英寸 | |||
軟件 | 舜宇MS精密測量軟件，實時顯示數(shù)顯表三坐標數(shù)據(jù)，配置圖像測量模塊， 支持自動尋邊，倍事自動識別等功能， 定制化終端數(shù)據(jù)上傳功能 | |||
其他附件 | 起偏境插板，360旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC組件；標定片 | |||
